可以在栅极层gtl上方顺序地形成四倍心轴图案qpg以及双倍心轴图案dpg1和dpg2。例如,四倍心轴图案qpg可以在方向x上布置成具有可以等于抗蚀剂图案的节距的相同的四倍心轴节距pqg。在这种情况下,每个单元线路结构uws3的四条栅极线gl1至gl4可以在方向x上布置成顺序地具有栅极节距pg21、第二栅极节距pg22、栅极节距pg21和第三栅极节距pg23。在一些实施例中,第三栅极节距pg23是距下一个单元线路结构的距离。栅极节距pg21、第二栅极节距pg22和第三栅极节距pg23可以彼此不同。栅极节距pg21、第二栅极节距pg22和第三栅极节距pg23可以由表达式3表示。表达式3pg21=wdg+wglpg22=wqg-wglpg23=pqg-(wqg+2wdg+wgl)在表达式3中,wdg表示双倍心轴图案dpg1和dpg2的宽度,wqg表示四倍心轴图案qpg的宽度,wgl表示栅极线gl1至gl4的宽度。在下文中,将参照图8、图9和图10描述通过saqp形成多条列金属线的示例实施例。参照图8、图9和图10,单元线路结构uws4、uws5和uws6中的每个可以包括分别布置在方向x上的十二条列金属线ml1至ml12和八条栅极线gl1至gl8。如参照图4a至图4i所述,可以在列导电层ccl上方顺序地形成四倍心轴图案qpm1、qpm2和qpm3以及双心轴图案dpm1至dmp6。例如。回收,就选上海海谷电子有限公司,用户的信赖之选,有想法的不要错过哦!河北集成电路回收收购
字线解码器118和偏置电路606可以包括相同的电路元件(即,字线解码器118可以将信号施加至偏置电压线bvly)。在操作期间,为了访问工作mtj器件106,偏置电路606和字线解码器118可以将电压施加至偏置电压线bvly和字线wlx,以设置存储器阵列102的行内的调节mtj器件604的值。随后,位线解码器116可以施加位线电压,该位线电压允许访问多个存储单元602a,1至602c,3中的选择的存储单元,而不访问多个存储单元602a,1至602c,3中的未选择的存储单元。例如,为了将数据写入存储单元602a,1内的工作mtj器件106,可以将组偏置电压施加至字线wl1和偏置电压线bvl1。组偏置电压赋予行内的调节访问装置108低电阻。可以将第二组偏置电压施加至其它行中的偏置电压线bvl2和字线wl1,以赋予其它行内的调节访问装置108高电阻。然后将位线电压施加至位线bl1。存储单元602a,1内的调节访问装置的低电阻使得大电流(例如,大于切换电流)流过存储单元602a,1内的工作mtj器件,同时第二存储单元602a,2内的调节访问装置的高电阻使得小电流(例如,小于切换电流)流过第二存储单元602a,2内的工作mtj器件。图6b示出了对应于图6a的存储器电路600的集成电路的一些实施例的截面图608。江西电子元件物料回收网回收,就选上海海谷电子有限公司,让您满意,欢迎您的来电!
存储介质1100(例如,存储装置)可以存储标准单元库sclb1110。标准单元库1110可以从存储介质1100被提供给设计模块1400。标准单元库1110可以包括多个标准单元,并且标准单元可以是用于设计块、器件和/或芯片的小的(例如,小的)单元。存储介质1100可以包括用于将命令和/或数据提供给计算机作为计算机可读存储介质的任何计算机可读存储介质。例如,计算机可读存储介质可以包括诸如随机存取存储器(ram)、只读存储器(rom)等的易失性存储器,以及诸如闪存、磁阻ram(mram)、相变ram(pram)、电阻式ram(rram)等的非易失性存储器。计算机可读存储介质可以入到计算机中,可以被集成在计算机中,或者可以通过诸如网络和/或无线链接的通信介质连接到计算机。设计模块1400可以包括布局模块plmd1200和布线模块rtmd1300。在此,术语“模块”可以指示但不限于执行特定任务的软件和/或硬件组件(诸如,现场可编程门阵列(fpga)或集成电路(asic))。模块可以驻留在有形的、可寻址的存储介质中,并且可以在一个或多个处理器上执行。例如。
每个单元线路结构的八条栅极线通过自对准双倍图案化(sadp)形成,并且每个单元线路结构的八条栅极线在方向上布置成交替地具有栅极节距和第二栅极节距。在又一实施例中,每个单元线路结构包括十二条金属线和八条栅极线,每个单元线路结构的十二条金属线通过自对准四倍图案化(saqp)形成,并且每个单元线路结构的十二条金属线在方向上布置成顺序地且重复地具有金属节距、第二金属节距、金属节距和第三金属节距。在这个实施例中,每个单元线路结构的八条栅极线通过saqp形成,并且每个单元线路结构的八条栅极线在方向上布置成顺序地且重复地具有栅极节距、第二栅极节距、栅极节距和第三栅极节距。还提供一种制造集成电路的方法。所述方法包括:在半导体基底上方的栅极层中形成多条栅极线,所述多条栅极线布置在方向上并且在垂直于方向的第二方向上延伸;以及在栅极层上方的导电层中形成多条金属线,所述多条金属线布置在方向上并且在第二方向上延伸,使得包括在所述多条金属线中的6n条金属线和包括在所述多条栅极线中的4n条栅极线形成单元线路结构,其中,n是正整数,并且多个单元线路结构布置在方向上。在所述方法的一些实施例中。回收,就选上海海谷电子有限公司,让您满意,期待您的光临!
所述多条栅极线布置在方向上并且在垂直于方向的第二方向上延伸。所述多条金属线形成在栅极层上方的导电层中,其中,所述多条金属线布置在方向上并且在第二方向上延伸。6n条金属线和4n条栅极线形成单元线路结构,其中,n是正整数,并且多个单元线路结构布置在方向上。根据示例实施例,一种制造集成电路的方法,所述方法包括:在半导体基底上方的栅极层中形成多条栅极线,所述多条栅极线布置在方向上并且在垂直于方向的第二方向上延伸;以及在栅极层上方的导电层中形成多条金属线,所述多条金属线布置在方向上并且在第二方向上延伸,使得6n条金属线和4n条栅极线形成单元线路结构,其中,n是正整数,并且多个单元线路结构布置在方向上。根据示例实施例,一种设计集成电路的方法包括:接收定义集成电路的输入数据;设置包括多个标准单元的标准单元库;基于输入数据和标准单元库执行布局和布线;以及基于布局和布线的结果生成定义集成电路的输出数据。所述集成电路包括:半导体基底,多条栅极线,形成在半导体基底上方的栅极层中,所述多条栅极线布置在方向上并且在垂直于方向的第二方向上延伸,以及多条金属线,形成在栅极层上方的导电层中。上海海谷电子有限公司致力于提供回收,竭诚为您服务。甘肃电子料上门回收平台
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并且也可以包括在部件和第二部件之间可以形成额外的部件,从而使得部件和第二部件可以不直接接触的实施例。此外,本发明可在各个实施例中重复参考标号和/或字符。该重复是为了简单和清楚的目的,并且其本身不指示所讨论的各个实施例和/或配置之间的关系。而且,为便于描述,在此可以使用诸如“且,为便于描述,在此可以使用诸如个实施例和和布置的具体实例等空间相对术语,以描述如图所示的一个元件或部件与另一个(或另一些)原件或部件的关系。除了图中所示的方位外,空间相对术语旨在包括器件在使用或操作中的不同方位。装置可以以其它方式定向(旋转90度或在其它方位上),而本文使用的空间相对描述符可以同样地做出相应的解释。磁阻式随机存取存储器(mram)单元包括垂直布置在导电电极之间的磁隧道结(mtj)。mtj包括通过隧穿阻挡层与自由层分隔开的固定层。固定层的磁取向是静态的(即,固定的),而自由层的磁取向能够在相对于固定层的磁取向的平行配置和反平行配置之间切换。平行配置提供低电阻状态,低电阻状态数字化地将数据存储为位值(例如,逻辑“1”)。反平行配置提供高电阻状态,高电阻状态数字化地将数据存储为第二位值(例如,逻辑“0”)。随着集成芯片的功能增多。河北集成电路回收收购
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